Область наук:
  • хімічні науки
  • Рік видавництва діє до: 2014
    Журнал: Євразійський Союз Вчених

    Наукова стаття на тему 'КРИТЕРІЇ КОНТРОЛЮ ПРОЦЕСІВ відкачування вакуумних ЕЛЕКТРОННИХ ПРИЛАДІВ'

    Текст наукової роботи на тему «КРИТЕРІЇ КОНТРОЛЮ ПРОЦЕСІВ відкачування вакуумних ЕЛЕКТРОННИХ ПРИЛАДІВ»

    ?Євразійський Союз Вчених (ЕСУ) # VII, 2014 | Технічні науки

    161

    КРИТЕРІЇ КОНТРОЛЮ ПРОЦЕСІВ відкачування вакуумних ЕЛЕКТРОННИХ

    ПРИЛАДІВ

    В технології вакуумних електронних приладів (ЗЕП) застосовують технологічні операції відкачування і тренування, які необхідні для остаточного формування фізико-хімічних властивостей елементів ЗЕП [1]. Відсутність чітких критеріїв закінчення процесів при відкачці ускладнює контроль відкачування.

    Основною метою відкачки ЗЕП є створення умов для роботи емітерний структур, зокрема ок-сідосодержащіх катодів [2]. Для оксідосодержащіх катодів можна виділити два критерії надання емісійної активності катодів: прямий і відносний.

    Оксид катода набуває емісійну активність за умови, що активність кисню в приладі нижче активності кисню в точці мінімуму загального рівноважного тиску парів оксиду при робочій температурі катода [2]. Тому можна ввести прямий критерій, що полягає у визначенні активності кисню в приладі. Активність кисню можна визначити по відношенню парціальних тисків СО2 / СО і Н2О / Н2. Відповідно до реакціями СО + 0,502 = СО2 і Н2 + 0,502 = Н20 відносини цих тисків рівні

    Держ (Т 'ат): = АТ • КСС (т)'

    Зоркін Олександр Якович

    д.т.н., професор СГТУ імені Гагаріна Ю.А. м Саратов Семенов Станіслав Валерійович асистент СГТУ імені Гагаріна Ю.А. м Саратов Вавіліна Надія Олександрівна асистент СГТУ імені Гагаріна Ю.А. м Саратов Котина Наталія Макарівна к.т.н., доцент СГТУ імені Гагаріна Ю.А. м Саратов

    'Ь (Т 'ат): = АТ • КоЬ (Т)'

    де ат: = ^ О2 - активність кисню; Ро2 - тиск молекулярного кисню, атм; Кос (Т), Ко ^ (Т) -

    константи рівноваги реакцій СО + 0,502 = СО2 і Н2 + 0,502 = Н2О; Т - температура, К.

    На рис. 1 показані залежності прямого критерію для деяких оксидів від температури, при цьому оксид активований, якщо фактичне значення відносини тисків СО2 / СО в приладі менше розрахункових значень 1 "ос (Т, АТ), наведених на рис. 1.

    Але зручніше користуватися відносним критерієм Бос, в якості якого можна вибрати відношення активності кисню в середовищі до активності кисню в аналізованої системі, яке дорівнює відношенню відповідних значень?, З (Т, АТ). На рис. 2 показані залежності відносних критеріїв для деяких оксидів і катодів від температури, при цьому оксид активований, якщо значення відносного критерію менше одиниці.

    Мгос (т > аОеУ (Т))) МГос (Т > аОеВа (Т))) Ч'сС1,> аОеТЬ (Т)))

    -10

    -15

    0.4

    0.6 0.8 тисячі

    Мал. 1. Залежність прямого крітеріяТотношенія тисків СО2 / СО) від температури на лінії мінімуму загального тиску пари оксиду. 1 - У2ое; 2 - Вао; 3 - ТЮ2

    М ^ ИТг aOeУ (T))) М ^ Итг aOeBa (T)))

    aOeTh (T))) log (Foc (aOMo (T) 'aOeBa (T)))

    5 0 -5 -10 -15 -20

    0.4

    0.6 0.8 тисячі

    Т

    Мал. 2. Залежність відносного критерію від температури катода. 1 - У2оз; 2 - Вао; 3 - ТЮ2; 4 - металлосплавной паладій-барієвий катод

    Список використаних джерел

    5

    0

    5

    1. Особливості нанотехнології електровакуумних приладів / С. В. Семенов // Вакуумна техніка та технологія, № 2, т. 21, 2011. - С.79-80.

    2. Відкачування електронних приладів / А. Я. Зоркін, Г. В. Конюшков. - Саратов: СГТУ, 2006. - 284 с.


    Завантажити оригінал статті:

    Завантажити